Creative Thinking 항상 새로움을 창조합니다

company

HOME > 사업소개 > Lapping & Polishing
PMS
 
PMS(Profile Measurement System)은 Lapping 및 Polishing Plate를 측정하여, Plate의 변형 유무 및 변형량등을 정밀하게 측정하는 측정
장비 입니다.
고정밀 Ceramic Bar에 연결된 측정용 프로브가 정반에 접촉하여 측정이 되며, 제어용 Pc에 정반의 변형 상태 및 Data의 모든 Data를 누적 관리 할 수 있습니다.
Lapping 및 Polishing Plate의 고정밀 관리를 위한 필수 Item입니다.
 
Measurment Precison
(Condition:Room Temp.20±1℃、Humidity 60±5% max.)		 Measurment Precison±5μm (HSS-1400 or more is accuracy by the master correction)
Precision when repeating±3μm
Standard Measurment Points
1000 points (possible 5000 points max.）

 
Sensor Move Speed(fixed)

30mm/sec.(motor speed)

Data-processing time
 Whitin 1minute (processing time at auto,atic setup) (Processing speed may change according to the PC's processing capablitity)
Sensor
Mesurment system Contact type linear gauge
Mesurment range 0～10mm
Sensor contact pressure 150gf
Sensor resolution 1μm