뉴마테크

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	셀타입으로 1축 Manual에서 ∞축 Full Auto Line 가능
	고강성 유닛에 의해 난삭재(AL2O3, SiC 등) 가공 시간 단축, 가공 정도 향상, 연마석 수명 UP!
	Non-Dress에 의한 가공 Cost 삭감!
	간단 조작에 의한 가공 조건 자동 작성!
	Servo Motor채용, Eco로 연마석 Speed Error Value를 개선!

가공 범위	Ø50~150 (6inch) 두께 100㎛~3000㎛
지석 사이즈	Ø300mm
지석 회전수	MAX 3000 RPM
전송 분해능	0.01㎛
Work Table	Vacuum Chuck
장치 치수 *1셀	약 W900mm X D1940 mm X H2280mm
장치 중량 *1셀	약 4000kg
전원	전압 : Three-phase AC200V(±10%) 50/60Hz 소비전력 : 본체 1셀 14KVA 옵션 LD7KVA ULD 7KVA 접속 : 제어판 내 단자 접속 본체(M6) 옵션 LD/ULD(M5)
공기원	CDA(Clean Dry Air) 압력 : 0.5MP~0.7MPa 소비량 : 100NL/ / min(흡착 테이블 제외) 접속 : Ø12 x Ø8mm One Touch 단수 연결
연삭액	수질 : City Water 순환 (첨가제) 수온 : 25 ℃(±1℃이내)
환경	온도 : 23℃±2℃(변동폭 1℃이내) 습도 : 55%(±15%이내) 소음 : 75db 이하
옵션	① LD 및 ULD ② 연삭액 순환 시스템