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GLP-150  
 

셀타입으로 1축 Manual에서 ∞축 Full Auto Line 가능
고강성 유닛에 의해 난삭재(AL2O3, SiC 등)
가공 시간 단축, 가공 정도 향상, 연마석 수명 UP!
Non-Dress에 의한 가공 Cost 삭감!
간단 조작에 의한 가공 조건 자동 작성!
Servo Motor채용, Eco로 연마석 Speed Error Value를 개선!
 
가공 범위 Ø50~150 (6inch) 두께 100㎛~3000㎛
지석 사이즈 Ø300mm
지석 회전수 MAX 3000 RPM
전송 분해능  0.01㎛
Work Table  Vacuum Chuck
장치 치수 *1셀 약 W900mm X D1940 mm X H2280mm
장치 중량 *1셀 약 4000kg
전원 전압 : Three-phase AC200V(±10%) 50/60Hz
소비전력 : 본체 1셀 14KVA *옵션 LD7KVA ULD 7KVA
접속 : 제어판 내 단자 접속 본체(M6) *옵션 LD/ULD(M5) 
공기원 CDA(Clean Dry Air)
압력 : 0.5MP~0.7MPa
소비량 : 100NL/ / min(흡착 테이블 제외)
접속 : Ø12 x Ø8mm One Touch 단수 연결
연삭액 수질 : City Water 순환 (첨가제)
수온 : 25 ℃(±1℃이내)
환경 온도 : 23℃±2℃(변동폭 1℃이내)
습도 : 55%(±15%이내)
소음 : 75db 이하
옵션 ① LD 및 ULD
② 연삭액 순환 시스템